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地面及平臺微振動檢測評估服務

時間:2023-04-19 瀏覽:1205次

振動敏感設備的通用振動標準在設計用于研究、微電子制造和類似活動的設施時,通常需要具有通用的振動標準(即適用于設備類別和活動),而不是特定于設備的特定項目。本文描述了基于三分之一倍頻程振動速度譜的一組標準的推導和使用。本文還討論了制定設備振動靈敏度測量方法和標準的必要性。呼吁設備制造商和用戶分別制定和要求真實準確的規范。隨著高科技界進入“納米時代”,這一點尤為重要;

對放置精密加工設備,精密如激光設備,激光導程測量儀,三坐標設備,半導體設備,光刻機等設備平臺或地面,需要進行微振動檢測,我們將出具VC-A,VC-B,···等級及波形數據報告;

對機加工,磨床,CNC機床地面也有著隔振設計規范,需要對防止這些設備的地面或平臺進行振動測試,根據加工精度,對應不同標準進行判定,判斷當前振動是否超標。

無錫某韓國企業,半導體行業光刻機,蝕刻機等精密設備,對設備平臺單獨進行隔振設計,平臺搭建完成后,對隔振平臺進行微振動測試,判斷是否符合微振動標準。

國內知名大學半導體設備研究院,房間周圍有空調設備運行,需要對半導體設備進行微振動測試,看空調運行對平臺振動的影響大小,振動是否符合地面微振動標準。

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